SMC電子式真空減壓閥主要特點
采用了模塊式結構，根據使用目的，
可以自由組合成不同功能的真空組合元件。
有真空發生器系統和真空泵系統兩類組合。
SMC ZX系列真空組件的結構緊湊、重量小（總組合才120g），
故可直接安裝在執行元件上。
特別適合于100G以下的電子元件、精密零件的搬運、裝配和粘接。.
輕（多組合400g）。因配管、配線、
指示及調整旋鈕等全裝在側面，
故可以多個組件集裝在一起，便于維護。
因為吧真空發生器的接收管設計成前后兩個抽吸口，

SMC電子式真空減壓閥主要特點

除**真空度達84kPa外，吸入流量可增大40%。
SMC ZM系列真空組件多可集裝10個。
供氣口有單獨供氣和集中供氣兩種，排氣口為集中排氣式。.
輸入信號增大，q真空壓用電磁閥為ON，
w大氣壓用電磁閥變為OFF狀態。由此，通過VAC.和e先導室，
e先導室的壓力變為負壓，并作用在r膜片的上面。
由此結果，與r膜片連動的t真空壓閥芯打開，
VAC.與OUT.接通，設定壓力變為負壓。
此負壓通過u壓力傳感器，反饋至i控制回路。
在這里進行修正動作，直到真空壓力與輸入信號成比例，
因此通常會得到與輸入信號成比例的真空壓力。
SMC電子式真空減壓閥主要特點