I-63S-A進口SMC精密減壓閥
若將這個小型直動式減壓閥與主閥合成一體，
則稱為內部先導式減壓閥。若將它與主閥分離，
安裝方便，可用托架獨立安裝或與現在的模塊式過濾
組合元件AF及AFM直接安裝。準型也帶面板安裝。
先導排氣口與主排氣口分開。可在潔凈房使用(特注產品)。
則稱為外部先導式減壓閥，它可實現遠距離控制。.
精密減壓閥結構原理圖。順時針旋轉設定手輪1，
調壓彈簧3被壓縮，推動擋板7，關閉噴嘴6，
輸入氣壓力通過固定節流孔2流入膜片B的上腔，
用壓縮空氣的作用力代替調壓彈簧力以改變出口壓力的閥，

I-63S-A進口SMC精密減壓閥

稱為先導式減壓閥。它調壓時操作輕便，流量特性*，
穩壓精度*，壓力特性也*，適用于通徑較大的減壓閥。
先導式減壓閥調壓用的壓縮空氣，一般是由小型直動式減壓閥供給的。
比傳統的精密減壓閥IR200輸出流量大。
調節螺釘的齒間距由傳統的0.75mm改為0.5mm。
氣壓力推動膜片C，使主閥芯4開啟，則有壓力輸出。
此輸出壓力一方面作用在膜片C的下腔，與膜片B的上腔氣壓力相平衡；
另一方面，通過OUT側通路，進入膜片A下腔，
又維持出口壓力不變。噴嘴擋板機構和常泄式排氣閥的
溢流作用對壓力調節是很敏感的，故能實現精密穩壓。.

I-63S-A進口SMC精密減壓閥